示踪气体是用来对真空系统进行检漏的气体。示踪气体由于自身独特的质量而易被检测或跟踪。通常所说的示踪气体是指氦气。

　　示踪气体是在研究空气运动中，一种气体能与空气混合，而且本身不能发生任何改变，并在很低的浓度时就能被测出的气体总称。

　　示踪气体包括：氟仿、二氧化氯、过氧乙酰硝酸酯、氮氧化物、二氧化硫、氡、汞。由于示踪气体的总量很小，因此他们的变化幅度可以非常大。空气成分中变化最大的是二氧化碳，工业化开始后其浓度增加了约40%。

　　采用示踪气体进行检漏的操作步骤如下：

　　1、将示踪气体调压阀调整至适当压力。如果将一个正确调校的喷嘴浸人水中，每秒会产生2-5个氦气气泡。

　　2、任何时候都应该首先检查真空系统内待消零部件与质谱检漏仪测试气口之间的所有管道（如配件、管路等）连接情况。

　　3、从系统或零部件的最高点向下开始检测，从而减少气体的漂移。切记，氨气是一种很轻的气体，会上升。

　　4、大面积漏气检查。

　　将探头在所有的表面、接头和管道上迅速移动，然后在大面积区域上喷撒氦气。如果检漏仪无任何反应，则说明系统是真空密封的，无漏气现象。如果检漏仪有反应，则应等待检漏仪恢复（抽空氦气），然后再确定漏孔位置。

　　注意：喷撒过量氦气将会使真空室内空气的背景含量升高，从而导致质谱检漏仪的基数增加。如果真空室外面喷撒了过量氨气，可以利用压缩空气将其驱散。如果真空系统内部氨气饱和，则应采用氮气或氩气进行冲洗。

　　5、缩小漏孔范围的方法（局部定位漏孔）